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中走絲割鋁-小量程壓力測量-仁光智能

欄目:中走絲線切割資訊 發布時間:2020-10-23 作者: 仁光智能小陳 來源: 網絡 瀏覽量: 1407
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中走絲割鋁,縱觀國內外關于小量程電容式壓力傳感器的報道,傳感器的空腔間隙和可動極板厚度都很小;為了滿足小量程壓力測量對靈敏度和線性度的要求,在減薄壓敏極板厚度的同時會相應縮小芯片尺寸

中走絲割鋁縱觀國內外關于小量程電容式壓力傳感器的報道,傳感器的空腔間隙和可動極板厚度都很小;為了滿足小量程壓力測量對靈敏度和線性度的要求,在減薄壓敏極板厚度的同時會相應縮小芯片尺寸。相關研究集中在傳感器制備工藝的改良、傳感器結構的創新以及測量電路的優化三個方面。

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中走絲割鋁,傳感器工藝改良工藝上控制超薄膜片的內應力很難。為了解決這個問題,多晶硅被選擇用來作為小量程MEMS電容式壓力傳感器的可動極板材料。選用多晶硅有如下優點:

典型的多晶硅是通過LPCVD(低壓化學氣相淀積)形成的,淀積厚度可以控制得很小,很容易形成超薄的可動極板;

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中走絲割鋁,經過退火處理,多晶硅可以形成低應力的薄膜,削弱可動極板內應力對小量程測壓的影響;摻雜之后的多晶硅導電,使壓敏極板有固定電勢,無需引入額外的電極。此外,薄膜淀積工藝與犧牲層釋放工藝也被廣泛用來制作間隙很小的空腔。在此基礎之上,人們不斷摸索,以求工藝的合理與簡化。

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