高端中走絲，如Vaisala公司的BAROCAP系列產品是單晶硅基電容式壓力傳感器，能夠測量500～1 100 hPa（50～110 kPa）范圍內的絕對大氣壓力,在工業應用測量范圍甚至可以更小，低至50 hPa（5 kPa）。

高端中走絲，BAROCAP傳感器的技術已經很成熟，產品擁有較低的遲滯性、優異的測量精度和長期工作穩定性，在各行各業都得到了廣泛應用，而且還能與其他類型傳感器集于一體，達到壓力、濕度、溫度的同時測量。

高端中走絲，自1989年開始，日本富士電機公司已經將硅電容式壓力傳感器商品化，其中的FCX-AIII系列絕對壓力變送器最小的測量范圍僅為0～16 kPa。與國外相比，我國的研究基本處于空白狀態，只能依賴于進口產品。

高端中走絲，針對MEMS電容式壓力傳感器在小量程壓力測量時存在的問題與挑戰，各國都在尋找有效可行的解決辦法，努力提升傳感器的性能以期實現更靈敏、更準確的小量程壓力測量。