高速中走絲,根據這種技術,該公司開發了一系列超敏感和高真空的絕對壓力電容式傳感器,可測量0.5 Torr(66.5 kPa)以下的壓力,分辨力小于10-6 Torr(10-3 Pa),靈敏度高達35 pF/Torr。該公司還解決了傳感器與外界電連接導致空腔密封性變差的問題。除此之外,傳感器的溫度特性也容易補償,整體性能優越。
高速中走絲,傳感器結構創新,傳統的電容式壓力傳感器屬于單端電容式結構,即只有一個電容在發生變化。相關研究證明,差動電容式結構的靈敏度要比單電容結構提高一倍,已經廣泛用于普通壓力傳感器的小量程壓力測量。
高速中走絲,為此,沈陽工業大學開展了差動電容式結構的硅差壓傳感器的研制,中國科學院的王躍林教授在差動結構的基礎上提出了一種靜電伺服電容式傳感器模型,解決了極板間隙過小導致傳感器動態范圍窄的問題。