線切割機(jī)型號(hào)規(guī)格，微系統(tǒng)在雷達(dá)方面得到了廣泛應(yīng)用，在提高雷達(dá)性能的同時(shí)大幅縮小其重量和體積。2014年10月，美國(guó)“陸軍聯(lián)合陸上巡航導(dǎo)彈組網(wǎng)防御傳感器系統(tǒng)”（JLENS）系統(tǒng)通過(guò)關(guān)鍵里程碑測(cè)試，并于12月在美國(guó)馬里蘭州的阿伯丁地面試驗(yàn)場(chǎng)正式部署，標(biāo)志著由MEMS開(kāi)關(guān)組成的雷達(dá)天線已經(jīng)進(jìn)入應(yīng)用階段。

線切割機(jī)型號(hào)規(guī)格，JLENS上安裝了X波段的MEMS電掃描相控陣，該天線陣面積僅0.4平方米，使用了2.5萬(wàn)只射頻 MEMS開(kāi)關(guān)，實(shí)現(xiàn)了±60°電掃描角度，空中探測(cè)距離超過(guò)20千米。

線切割機(jī)型號(hào)規(guī)格，利用微系統(tǒng)技術(shù)可以制造體積非常小且具有一定功能的產(chǎn)品，在醫(yī)療植入、生命體征檢測(cè)等生物與健康領(lǐng)域取得了較大進(jìn)展。DARPA與美國(guó)國(guó)立衛(wèi)生研究院研發(fā)了基于MEMS的“片上人體系統(tǒng)”，該項(xiàng)目基于MEMS技術(shù)開(kāi)發(fā)微流體芯片來(lái)模擬人體的實(shí)際生理反應(yīng)，目的是加速新藥物的研發(fā)速度和效率，并提供快速檢測(cè)不明物質(zhì)毒性的方法。