高檔中走絲，另外，在小壓力范圍內，內應力對可動極板工作性能的影響也特別大，內應力會阻礙可動極板形變，降低傳感器靈敏度，增加非線性誤差。而現階段測量微小電容主要面臨的困難是檢測電路的復雜性和精度不高的問題。

高檔中走絲，由于小量程傳感器的輸出電容太小，所以檢測電路極其復雜；與被測的微小電容相比，雜散電容一般要高很多，并且雜散電容會隨諸多因素而變化，結果往往是干擾信號遠大于被測量的信號，很難得到準確的結果。

高檔中走絲，因此，要實現小量程壓力測量，不僅需要在小體積約束條件下改變電容式傳感器的結構來提高電容輸出，以削弱雜散電容的干擾和降低測試電路的復雜性，還需要優化測量電路，增加其分辨率和精度。國內外研究現狀，在二十余年的時間里，國外小量程MEMS電容式壓力傳感器的研制已經取得一定成績。