中走絲伺服微型，按照《電火花線切割機精度》標準，機床的幾何精度與運動精度共10項，其中以工作臺運動的失動量、工作臺運動的定位精度及工作臺運動的重復定位精度等3項運動精度對加工精度的影響最顯著。

中走絲伺服微型，工作臺運動的失動量，它主要反映了工作臺在作正反向運動時，傳動絲杠與螺母之間間隙帶來的誤差。標準規定此誤差值為0.005毫米。工作臺運動的重復定位精度，它主要反映工作臺運動時，動靜摩擦力和阻力大小是否一致，裝配預緊力是否合適，而與絲杠間隙和螺距誤差關系不大。

中走絲伺服微型，標準規定的誤差值為0.002毫米。工作臺運動的定位精度，它主要反映了工作臺絲杠的螺距誤差，但也與重復定位精度有一定的關系，標準規定的誤差值為0.03毫米。